臺式勻膠機(jī) 型號:SC-1B
SC-1B標(biāo)準(zhǔn)型勻膠機(jī)主要于半導(dǎo)體硅片、晶片、ITO導(dǎo)電玻璃、光學(xué)玻璃等工藝制版及表面涂覆,各種光刻膠表面膜制備。
采用變頻技術(shù)控制旋涂速度與時(shí)間,有效控制膠的厚度、均一性??蓱?yīng)用于各研究領(lǐng)域前期研發(fā)及小規(guī)模生產(chǎn)。
主 要 技 術(shù) 指 標(biāo)1. 控制顯示:LED數(shù)字控制器,用戶可通過控制器進(jìn)行參數(shù)修改設(shè)置
2. 勻膠模式:可同時(shí)輸入七組數(shù)值,即轉(zhuǎn)速及勻膠時(shí)間可任意設(shè)置為Ⅰ檔、Ⅱ擋、……Ⅶ檔,轉(zhuǎn)速啟動(dòng)后先低速運(yùn)轉(zhuǎn)(Ⅰ檔),然后自動(dòng)執(zhí)行Ⅱ檔、……Ⅶ檔,直至達(dá)到高速運(yùn)轉(zhuǎn)。
3.勻膠時(shí)間:1~9999s任意時(shí)間可設(shè)置
4.勻膠速度:0~8000rmp可調(diào)
5.旋轉(zhuǎn)加速度:0~8000rpm/sec 由低速到高速加速時(shí)間0.1s~0.5s
6.轉(zhuǎn)速穩(wěn)定度:±1rmp
7.涂膠均勻性:±3%
8.可鍍膜尺寸:Ф5~Ф150mm(6〞)
9.基片厚度: ≤5mm
配 置 參 數(shù)1.設(shè)備配置Ф200mm接膠裝置
2.電機(jī)功率:90W,額定轉(zhuǎn)速8000rmp
3.真空泵:FY-1C旋片式真空泵,抽速60L/min(用戶可選配無油型真空泵)
4.樣片托:標(biāo)配1英寸一個(gè),2英寸一個(gè),其它規(guī)格按要求定制
5.輸入電源: AC220V/240V 50HZ
6.整機(jī)功率:100W
7.機(jī)身尺寸: 280×360×240mm
8.機(jī)身重量:10Kg